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一颗先进制程芯片,在指甲盖大小的面积上,集成上百亿个晶体管。纳米级的微小缺陷、几微米的对位偏差,都会直接造成芯片短路、性能失效、整批报废。在半导体制造这条高精尖产业链里,传统人工肉眼检测早已无法胜任: